Laserlithographie

Die Laserlithographie gilt heutzutage in einigen Bereichen als Schlüsseltechnologie. Zu diesen Bereichen gehören unter anderem die Mikro- und die Nanoelektronik, die Photonik, Fluidik und die Biotechnologie.

Erstmals wurde die Laserlithographie, auch bekannt als Zwei-Photonen-Absorption, zum ersten Mal 1997 in einem Paper erwähnt: „Two-photon-absorbed photopolymerization for three-dimensional microfabrication. Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)“ Maruo, S., & Kawata, S. (1997). Die Laserlithographie, eine Anwendung der Mehrphotonen-Absorption, ermöglicht die lokale und zugleich hochauflösende Belichtung photosensitiven Materials. Im Gegensatz zu ihrer Umgebung weisen die belichteten Bereiche eine andere chemische Löslichkeit auf und lassen auch äußerst komplexe 3D Strukturen, deren Größen sich im Sub-Mikrometerbereich bewegen, erzeugen.

Bei diesem Verfahren werden ultrakurze Laserimpulse gesetzt, deren Ein-Photonen-Energie die Absorptionsschwelle des zu belichtenden Mediums nicht übersteigt. Aus diesem Grund wird transparentes Material eingesetzt.  Wird hingegen der Laserstrahl in starkem Maße fokussiert, so sind Mehrphotonen-Absorptionsprozesse sehr wahrscheinlich. Das Material wird dann chemisch oder physikalisch verbessert und aus diesem Grund im Vergleich zum umgebenden Material chemisch löslich.

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