
Rentable Produktion auch in kleinen Größen
Bei Geräten wie dem Smartphone, wenn diese Sensoren zum Beispiel Drehbewegungen und Beschleunigungen wahrnehmen, ist es vielmehr als eine „nette Spielerei“ anzusehen. In Bereichen wie dem Flugzeug oder Windkraftanlagen sind solche Beschleunigungssensoren hingegen zwingend notwendig. Diese Beschleunigungssensoren bestehen aus elektrischen Kondensatoren und einem kleinen Gewicht aus Silizium, das an dünnen Federn aus Silizium hängt.

Das Gewicht und die Federn sind winzig. Sie sind gerade einmal so „dick“ wie ein menschliches Haar. Wirken Drehbewegungen und Beschleunigungen auf sie ein, dann bewegt sich das Gewicht an den Federn und die Kapazität in den Kondensatoren verändert sich. Diese Kapazität wird gemessen und zur Regelung genutzt. Werden sehr viele solcher Mini-Sensoren hergestellt, dann rentiert sich die Einrichtung einer teuren Infrastruktur, die dafür benötigt wird. Das gelingt jedoch nur, wenn viele Sensoren hergestellt werden und diese alle identisch sind. Oftmals werden auch spezialisierte MEMS-Bauteile in kleinen und mittleren Stückzahlen benötigt. Diese mit dem üblichen Verfahren herzustellen ist jedoch äußerst unrentabel. Der 3D-Druck soll eine kostengünstige Lösung darstellen.
Zwei-Photonen-Polymerisation als 3D-Druck-Lösung
Gemeinsam mit Kollegen aus Zweibrücken und mit Forschern der Königlichen Technischen Hochschule KTH Stockholm hat Braun an einer Lösung gearbeitet. Ziel war es, den Ansatz „3D Druck von Sensoren“ prinzipiell auf Machbarkeit zu prüfen, was auch gelang. Die Forscher arbeiteten mit einem speziellen 3D-Druckverfahren, das auf der Zwei-Photonen-Polymerisation basiert. Damit lassen sich nur wenige hundert Nanometer kleine Objekte anfertigen. Prototypen der Beschleunigungssensoren wurden nach anschließender Metallbeschichtung in gleicher Größenordnung wie „konventionelle“ MEMS-Beschleunigungssensoren hergestellt.
Mit einem Proof-of-Concept zeigte sich, dass die Methode für Prototyping und Herstellung von MEMS-Bauteilen in Kleinserien technisch umsetzbar ist. Braun erklärt, das der Anteil seines Teams im Design und der Simulation des Prototypen lag.






